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1) 高剛性高穩(wěn)定性床身

床身采用整體花崗巖結(jié)構(gòu)。由于高阻尼、振動(dòng)小、熱穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，花崗巖可以保證磨床的高剛性和高穩(wěn)定性。

2) 工作臺(tái)

工作臺(tái)采用整體花崗巖結(jié)構(gòu)。在傳統(tǒng)封閉靜壓導(dǎo)軌的基礎(chǔ)上，研制出高剛性、高精度的大平面封閉靜壓導(dǎo)軌，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)大行程、穩(wěn)定可靠的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。工作臺(tái)由西門(mén)子直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)。同時(shí)，為了防止直線(xiàn)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)影響臺(tái)面，直線(xiàn)電機(jī)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)了獨(dú)立的靜壓導(dǎo)軌。臺(tái)面的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)由海德漢編碼器系統(tǒng)閉環(huán)控制，從而保證臺(tái)面具有高精度、快速響應(yīng)的運(yùn)動(dòng)特性。

3) 柱子、幻燈片和橫梁

它可以控制機(jī)器由于熱引起的變形。柱子和橫梁由花崗巖制成。砂輪的水平位移滑塊放置在固定梁上，安裝砂輪架的垂直移動(dòng)小車(chē)放置在水平位移滑塊上。橫向位移和縱向運(yùn)動(dòng)由西門(mén)子伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)高精度滾珠絲杠，海德漢編碼器位置反饋完成。垂直移動(dòng)小車(chē)的橫向位移滑塊和導(dǎo)軌也采用靜壓導(dǎo)軌。此外，垂直移動(dòng)小車(chē)配備微進(jìn)給機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)輪架微進(jìn)給0.1μm。為減少輪架滑道自重及其橫向位移引起的橫梁變形，在橫梁正上方設(shè)置卸荷裝置（卸荷梁）。用于承受輪架滑架的大部分重量，通過(guò)海德漢光柵的位置反饋使卸料裝置與輪架橫向位移滑架的運(yùn)動(dòng)同步，從而將橫梁變形對(duì)輪架的影響降到最低。研磨過(guò)程。

4）砂輪架

研制了寬速、高剛性、高精度砂輪靜主軸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)砂輪的高剛性、高精度旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。砂輪軸采用靜壓軸承支撐，西門(mén)子內(nèi)置主軸電機(jī)，采用冷卻液強(qiáng)制冷卻主軸電機(jī)，砂輪主軸配有砂輪平衡裝置，配套管理控制程序可連續(xù)監(jiān)控狀態(tài)循環(huán)中的砂輪，并立即檢測(cè)砂輪的情況。不平衡量得到補(bǔ)償。

5) 測(cè)量系統(tǒng)

機(jī)床配備激光干涉儀作為加工精度的原位測(cè)量系統(tǒng)。通過(guò)機(jī)床工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)和小車(chē)橫向運(yùn)動(dòng)的測(cè)量，激光干涉儀的鏡頭可以?huà)呙杷屑庸^(qū)域。機(jī)床磨削時(shí)，測(cè)量梁可以移動(dòng)到加工范圍之外。

超精密大尺寸光學(xué)玻璃平面磨床是針對(duì)國(guó)家重要光學(xué)工程產(chǎn)業(yè)的重大需求而研發(fā)的。是具有高水平的超精密加工關(guān)鍵設(shè)備。本項(xiàng)目開(kāi)發(fā)成功，可實(shí)現(xiàn)450×1200mm光學(xué)玻璃的高精度、高效率磨削，工件平面度可達(dá)3μm，大大縮短后續(xù)磨拋時(shí)間，可滿(mǎn)足超精密激光武器、航空航天等領(lǐng)域。大尺寸平板玻璃的大規(guī)模需求對(duì)我國(guó)天文科學(xué)、國(guó)家重點(diǎn)工程和軍事裝備的發(fā)展具有重要意義，將進(jìn)一步推動(dòng)我國(guó)光學(xué)和激光領(lǐng)域制造裝備的技術(shù)突破，提升核心競(jìng)爭(zhēng)力和創(chuàng)造力。